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エアナイフは半導体業界で主に以下のような場面で使用されています。
2023-07-06
洗浄と除塵:半導体製造では、製造装置、作業環境、半導体チップ自体の清浄度が非常に高くなります。エアナイフは高速気流を利用して小さな粒子や塵を表面から吹き飛ばし、製造装置と環境をクリーンにし、不純物がチップの製造プロセスに干渉しないようにします。
切断と分割: 半導体業界では、多くの場合、半導体ウェーハまたはチップを切断して分割する必要があります。エアナイフは、半導体材料を正確かつきれいに切断するための高速気流を生成し、切断線の平坦性と精度を確保し、切断プロセス中に発生する粒子や残留物を削減します。
冷却と熱放散: 半導体チップは動作中に大量の熱を発生するため、チップの通常の動作温度を維持するために効率的な熱放散が必要です。エアナイフは大量の空気流を生成して熱伝達と放散を促進し、半導体チップが適切な温度範囲を維持し、性能と寿命を向上させるのに役立ちます。
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